laboratoire pierre aigrain
électronique et photonique quantiques
 
laboratoire pierre aigrain
 

Nano fabrication

Claude Dodray
Pascal Morfin

La cellule nano-fabrication répond aux besoins des équipes de recherche pour la croissance des échantillons. Certaines parties des process pour l’élaboration de l’échantillon final sont réalisées par nos soins. D’autres, nécessitant l’utilisation d’appareils spécifiques (nanolithographie, nanogravure, dépôt de couches minces…), sont réalisées dans la salle blanche du Département de Physique de l’ENS avec le soutien de ses personnels techniques (Michael Rosticher et José Palomo).

Matériel à disposition

  • Four croissance CVD (Chemical Vapor Deposition) pour CNT (nanotubes de carbone)
  • Réacteur de croissance LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition)
  • Micro soudeuse

Exemples de protocoles mis au point :

  • Croissance CVD de CNT
  • Croissance LPCVD de graphène
  • Transfert de graphène du substrat de croissance vers un substrat cible

Autres compétences :

  • Caractérisation Raman
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Réacteur de croissance LPCVD
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Four de croissance CVD pour CNT